УДК 621.382

Комов А.Н.

ПЕРСПЕКТИВНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ ДЛЯ РАЗВИТИЯ СВЧИ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ

Аннотация. Рассмотрены результаты применения полупроводниковых преобразователей на основе карбида кремния в качестве чувствительных регистраторов СВЧ-сигналов. Отмечено также, что этот материал перспективен в развитии таких областей, как медицина, аэрокосмическая техника, высокоскоростная связь. Возрастает необходимость карбида кремния для его применения в наноэлектронике.

Ключевые слова: карбид кремния, электромагнитное излучение, радиоЭДС, температура Дебая, алмаз.;

Библиографический список

• 1. А. c. № 303910 Ненастраиваемая измерительная головка с датчиком Холла / А.Н. Комов. Госрегистрация изобретений СССР. 28.02.1987.
• 2. А. c.№ 1062617 Датчик СВЧ-мощности /А.М. Белогорцев, А.Н. Комов, В.Н. Трещев. Госрегистрация изобретений СССР.
• 3. Патент РФ. RU2156330 Драгоценные камни из карбида кремния / Ч.Э. Хонтер. 27.08.1996.
• 4. А. c.№ 951168Устройство для измерения мощности сверхвысоких частот/ А.Н. Комов, В.А. Клычков, Л.М. Смирнова. Госрегистрация изобретений CCCР. 02.04.1980.
• 5. Патент РФ № 58724 Волноводная измерительная регулируемая головка с датчиком Холла/ А.Н. Комов, А.А. Колесникова, В.Ч. Чепурнов, А.В. Щербак.Госрегистрация изобретений РФ. 27.11.2006.
• 6. А. с. № 791113 Способ получения эпитаксиальных пленок карбида кремния / А.Н. Комов, В.И. Чепурнов, М.В. Шмалев, В.Г. Блатов, Б.И. Смыслов, А.А. Соколова. Госрегистрация изобретений CCCР 10.01.1979.
• 7. А. c. № 1566809 Способ выращивания монокристаллического карбида кремния / А.Н. Комов, В.И. Чепурнов, В.Т. Пряхин, В.И. Левин, В.Ф. Цветков. Госрегистрация изобретений СССР. 22.01.1990. 126 А.Н. Комов
• 8. Комов А.Н., Яровой Г.П. СВЧ-полупроводниковая электроника. М.: Радио и связь, 2007. 150 с.
• 9. Силаев М.А., Комов А.Н. Измерительные полупроводниковые СВЧ-преобразователи. М.: Радио и связь, 1984. 149 с.
• 10. Комов А.Н., Трещев В.М. Гальваномагнитные СВЧ-преобразователи. М.: Радио и связь, 2000. 264 с.